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ATMOC - Traceable metrology of soft-X-ray to IR optical constants and nanofilms for advanced manufacturing
Projektleitung
	Dr. rer. nat. Andreas Hertwig BAM - 6.7 Materialsynthese und Design E-Mail: Andreas.Hertwig@bam.de
Förderstruktur
	EU - Europäische Kommission - H2020 - EMPIR - EMPIR Call 2020
Projektbeginn
	01.07.2021
Projektende
	30.06.2024
Projektart
	Realisierte Antragsforschung
Themen-/Aktivitätsfeld
	THEMENFELD Analytical Sciences, * Oberflächen- und Grenzflächenanalytik
Abstract
	Die Optik- und Halbleiterindustrie verwendet in ihren Produkten innovative Materialien und komplexe Nanostrukturen, deren optische Eigenschaften schwer zu messen und oft nicht genau bekannt sind. Im Rahmen dieses Projekts werden fortschrittliche mathematische Methoden zur rückverfolgbaren Charakterisierung dieser Materialien für Wellenlängenbereiche von weicher Röntgenstrahlung bis zum IR entwickelt. Zu diesem Zweck wird eine Datenbank der optischen Konstanten mit den zugehörigen Unsicherheiten für Bulk-Materialien und ultradünne Schichtsysteme sowie industriell relevante Datensätze erstellt. Diese Datenbank wird den einschlägigen Industriezweigen die Möglichkeit bieten, Simulationen durchzuführen und schließlich neue Materialien mit maßgeschneiderten Eigenschaften zu entwickeln.