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SNELLIUS - Standardisierung und Normung der Ellipsometrie als universeller Spektroskopie
Projektleitung
	Dr. rer. nat. Uwe Beck BAM - 6.7 Materialsynthese und Design E-Mail: Uwe.Beck@bam.de
Förderstruktur
	Bund - Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWi) - WIPANO - Wissens- und Technologietransfer durch Patente und Normen - Normung und Standardisierung
Projektbeginn
	01.10.2018
Projektende
	31.03.2021
Projektart
	Realisierte Antragsforschung
Themen-/Aktivitätsfeld
	THEMENFELD Analytical Sciences, * Qualitätssicherung
Abstract
	Die Ellipsometrie ist ein phasenempfindliches Reflexionsexperiment mit polarisiertem Licht zur Bestimmung von Schichtdicken und optischen bzw. dielektrischen Funktionen. Während die Ellipsometrie im Bereich der Halbleitertechnik seit langem in der Fertigung eingesetzt wird und sich die Ellipsometrie im FE-Segment auch außerhalb der Halbleitertechnik vom VUV bis in den IR-Spektralbereich hinein zur universellen Spektroskopie entwickelt hat, ist die industrielle Anwendung außerhalb der Halbleitertechnik dennoch deutlich eingeschränkt, wofür zwei Defizite der Ellipsometrie verantwortlich sind. Erstens ist die Ellipsometrie eine indirekte, modellbasierte Methode, bei der die interessierenden physikalischen Größen (Schichtdicke und optische/ dielektrische Funktionen) über einen parametrisierten Fit bestimmt werden müssen. Eine Modell-Validierung ist dabei unverzichtbar. Der möglichen Messgenauigkeit von 0,1 nm unter Idealbedingungen (ideal glatte und homogene Substrate, sehr gut definierte Materialien und valide Modelle wie dies bei Halbleiteranwendungen der Fall ist) stehen bei Realsystemen auf technischen Oberflächen deutlich erhöhte Messunsicherheiten und offene Fragen der materialunabhängigen Modellvalidierung gegenüber. Zweitens existieren außerhalb der Halbleiterindustrie keine allgemein gültigen Standards und Normen für die Ellipsometrie, die eine Modellvalidierung beinhalten. Diese beiden Defizite sollen mittels SNELLIUS („Standardisierung und Normung der Ellipsometrie als universeller Spektroskopie“) zeitnah abgebaut bzw. beseitigt werden und auf diese Weise den Einsatz der Ellipsometrie in der materialübergreifenden Qualitätssicherung außerhalb der Halbleitertechnik forcieren.