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MISTRAL - Müller-Matrix-basierte Identifizierung von Inhomogenität und strukturellen Anomalien, Teilprojekt: Gekrümmte Oberflächen: Identifizierung, Charakterisierung, Validierung relevanter Materialsysteme und Bauteile und Projektkoordination
Projektleitung
	Dr. rer. nat. Uwe Beck BAM - 6.7 Materialsynthese und Design E-Mail: Uwe.Beck@bam.de
Förderstruktur
	Bund - Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWi) - Zentrales Innovationsprogramm Mittelstand (ZIM) - FuE-Kooperationsprojekt (ZF)
Projektbeginn
	01.10.2017
Projektende
	30.09.2020
Projektart
	Realisierte Antragsforschung
Themen-/Aktivitätsfeld
	THEMENFELD Analytical Sciences, * Oberflächen- und Grenzflächenanalytik
Abstract
	Mit abbildender Ellipsometrie (imaging ellipsometry: IE) können Nanometer-Beschichtungen/ Degradationen visualisiert und bezüglich Brechungsindex n, Extinktionskoeffizient k und Schichtdicke d charakterisiert werden. Materialseitig werden lokal Homogenität und Isotropie innerhalb eines/mehrerer Bildpunkte (field of analysis: FOA) und messtechnisch global die Ebenheit der Proben bezüglich aller Bildpunkte des Messfeldes vorausgesetzt. Für die Müller-Matrix-basierte abbildende Ellipsometrie (MM-IE), die den optischen Response anisotroper Materialien in jedem Bildpunkt über die bis zu 16 Müller-Matrix-Elemente erfasst, ist dies von besonderer Relevanz. Reale Substrate sind aber oft nicht eben, können lokal Noppen/Mulden (im FOA) aufweisen oder sind global konvex/ konkav im möglichen Messfeld (field of view: FOV) gekrümmt. Diese lokalen/globalen strukturellen Anomalien des Substrats werden schon für die IE messtechnisch/modellseitig oft nicht beherrscht und sind für die MM-IE in der Wirkung auf die MM-Elemente unbekannt. Diese Defizite sollen messtechnisch bzw. modellmäßig behoben und somit die Messung lokal/global gekrümmter Oberflächen ermöglicht werden (MM-CSIE, CS curved surface).